• Чхало Николай Иванович

Зав. отделом 130, член-корреспондент РАН, д.ф.-м.н.

Образование

Физико-технический факультет Новосибирского электротехнического института,
кафедра Электрофизические установки и ускорители.

Научные интересы

Рентгеновская оптика, физика поверхности и тонких пленок, оптическая
интерферометрия, проекционная литография.

• Полковников Владимир Николаевич

Заместитель директора по научно-технологическому развитию;
Зав. лабораторией физики и технологии многослойных структур (132);
Ведущий научный сотрудник отдела многослойной рентгеновской оптики, 130

Образование

Радиофизический факультет университета
им. Н.И. Лобачевского.

Научные интересы

Многослойные зеркала, рентгеновское излучение, рентгеновская литография.

• Пестов Алексей Евгеньевич

Зав. лабораторией 133 (отд. 130), к. ф.-м. н.

Образование

Радиофизический факультет университета
им. Н.И. Лобачевского;
Экономический факультет университета
им. Н.И. Лобачевского.

Научные интересы

Многослойная рентгеновская оптика, литография экстремального ультрафиолетового диапазона, ионное травление, шероховатость.

• Зорина Мария Владимировна

Научный сотрудник лаборатории коротковолновой прецизионной оптики и перспективного приборостроения

Образование

Будет позже

Научные интересы

Будет позже

• Михайленко Михаил Сергеевич

Научный сотрудник лаборатории коротковолновой прецизионной оптики и перспективного приборостроения отдела многослойной рентгеновской оптики. К.ф.-м.н. Председатель совета молодых ученых ИФМ РАН

Образование

Физический факультет университета
им. Н.И. Лобачевского.

Научные интересы

Многослойная рентгеновская оптика, ионное травление, асферизация/коррекция формы, шероховатость, физическое распыление, низкокогерентная интерферометрия, интерферометрия.